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CCQ型－气动超高真空插板阀：
CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体，带反馈信号装置。
CCQ型－气动超高真空插板阀主要技术性能
| 适用范围： |
105～1.3×10-7Pa |
| 阀门漏率： |
≤1.3×10-7Pa.L/S.DN≤200
≤6.7×10-7Pa.L/S.DN≥250 |
| 适用温度： |
-30～+150℃ |
阀门开启时阀板两侧的压差：
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≤2.7×103Pa. |
| 气源压力： |
0.4～0.6MPa |
CCQ型－气动超高真空插板阀主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管轴封、丁腈橡胶。
CCQ型－气动超高真空插板阀外形及连接尺寸mm
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